اخبار

ادغام کننده های سیستم در بسته به سمت پایین آمدن پیوند مستقیم مس به مس بین قالب با پایین رفتن گام پیوند ، باعث می شود لحیم کاری مورد استفاده برای اتصال دستگاه ها در یک بسته ناهمگن از کاربرد کمتری برخوردار باشد.

در پیوند گرمایش فشاری ، برجستگی های برجسته مس به لنت های موجود در بستر زیرین پیوند می خورند.در پیوندهای ترکیبی ، پد های مس در دی الکتریک منبت کاری می شوند و خطر اکسیداسیون را کاهش می دهد.در هر دو حالت ، نفوذپذیری سطح مس سرعت و وابستگی به دما در تشکیل پیوند را تعریف می کند.

در هر دو حالت ، نفوذپذیری سطح مس سرعت و وابستگی به دما در تشکیل پیوند را تعریف می کند.مس در یک شبکه مکعبی متبلور می شود ، سطح آشکار آن مربوط به هر دو صورت مکعب ، صفحه ای است که چهار گوشه مخالف را قطع می کند ، یا صفحه ای است که سه گوشه را قطع می کند.کریستالوگرافها بر اساس شاخصهای میلر شبکه به ترتیب این صورتها (100) ، (110) و (111) را برچسب گذاری می کنند.

در مس ، اکسیداسیون بسیار کندتر است و سرعت انتشار سریعتر است: 1.22 10 10-5 سانتی متر مکعب در ثانیه در 250 درجه سانتیگراد بر روی سطح (111) ، اما فقط 4.74 × 10-9 سانتی متر مکعب بر ثانیه (100) سطح ، و 3.56 10 10-10 سانتی متر مربع در ثانیه بر روی سطح (110).هنگام پیوند دادن (111) سطح ، Chien-Min Liu و همکارانش در دانشگاه ملی Chiao Tung در تایوان به اتصالات محکم در دمای پایین تر از 150 درجه سانتی گراد رسیدند ، در حالی که در سطوح کمتر گراش حداقل دمای پیوند نزدیک به 350 درجه سانتیگراد بود.فرآیندهای متداول دفع لحیم کاری در دمای حدود 250 درجه سانتیگراد کار می کنند و بسیاری از ترکیبات چسب موقتی برای آن محدوده دما طراحی شده اند.

سطح (111) نیز تراکم اتمی بالاتری را ارائه می دهد که منجر به پیوند قوی تر می شود.سطوحی که کمتر از 25٪ دانه ها در این راستا قرار دارند مستعد شکست پیوند هستند.

جهت گیری سطح به فرآیند آبکاری که برای رسوب ویژگی های مس استفاده می شود بستگی دارد.مهندس فرآیند مواد کاربردی ، ماروین برنت توضیح داد که ویژگی های کم عمق و عرض کم حاشیه قابل توجهی ندارند.قسمت پایین این ویژگی می تواند به عنوان الگویی برای رشد جهت دار عمل کند.با افزایش عمق ویژگی ، یک لایه بذر متناسب به کاهش خطر آبکاری حفره ها در کنار دیواره های جانبی کمک می کند.

متأسفانه ، لایه رو به رشد مس تمایل دارد به طور مساوی در تمام سطوح بذر جمع شود.دانه های ستونی که از انتهای ویژگی رشد می کنند توسط دانه هایی که از دیواره های جانبی رشد می کنند قطع می شوند.برای نسبت های بزرگتر از 1.5 ، این "خرج کردن" حتی می تواند منجر به حفره های داخلی شود.فرآیند آبکاری نیاز به متعادل کردن معاملات بین جهت گیری ، میزان رسوب و رشد بدون اعتبار دارد.

اندازه و جهت دانه نیز بدون توجه به اندازه پد تحت تأثیر قرارگیری درون آرایه پد قرار می گیرد.لبه های لبه دانه های کوچکتری دارند و به سمت داخل آرایه افزایش می یابند.SeokHo Kim و همکارانش در سامسونگ دریافتند که جهت گیری دانه بستگی به اندازه و موقعیت پد دارد که احتمالاً به دلیل تغییر در چگالی جریان در هنگام آبکاری است.بنابراین دستیابی به دانه های ستونی مورد نظر به تعامل بین لایه بذر ، شکل موج فعلی تأمین شده توسط ابزار آبکاری و شیمی حمام آبکاری بستگی دارد.

هنگامی که دو سطح بسیار جهت دار به هم می رسند ، نتایج قابل توجه است.جینگ یه یوانگ و همکارانش در دانشگاه ملی کیائو تونگ یک ساختار مشبک مداوم را مشاهده کردند و رابط قبل از اتصال را از بین بردند.در تست های کشش ، رابط مس و مس از پیوند سیلیکون مس و چسب بین نمونه و دستگاه تست قوی تر بود.به طور مشابه ، مقاومت الکتریکی با مقاومت در برابر مس فله قابل مقایسه بود.

اتصال موفقیت آمیز مس به مس به فرآیند آبکاری بستگی دارد که می تواند ساختار دانه ای مس ثابت را ارائه دهد.اگرچه آبکاری برای کاربردهای BEOL و TSV کاملاً ثابت است ، اما الزامات خاص پیوند مس به مس جدید است. (از کاترین دربی شایر)